利用一维微光电子结构分析工具AMPS-lD(Analysis of Microelectronic and Photonic Struc-tures-lD)研究了一种PIN结构的非晶硅基薄膜太阳电池的电流-电压特性.通过系统分析不同缺陷浓度对太阳电池光电特性的影响,探索了在不致严重影响器件性能情况下可容许的最高缺陷浓度.模拟结果表明,若半导体膜足够薄,在带边附近有很高的吸收系数,且具有满足一定条件的迁移率,则可使用含有相当高缺陷浓度(1016 ~1017 cm -3 数量级)的非晶硅基薄膜制造出性能良好的太阳电池.