AZO薄膜的光学性质研究

• 作者: 刘子贻 刘素芳 李丽 江莎
• 来源期刊: 重庆邮电大学学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: AZO薄膜 光学性质 透射光谱
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 通信与电子
• 页码范围: 781-784
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2252字
• 语种: 中文

摘要

采用直流反应磁控溅射法,用Zn(99.99%)掺 Al(1.5%)靶制备出高质量的Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜,用紫外可见、红外分光光度计等测试手段对沉积的薄膜进行了表征和分析,并对AZO薄膜的折射率和厚度进行了理论分析.薄膜的光谱分析结果表明:薄膜样品的可见光透射率平均值均在80%以上.AZO薄膜在紫外有很强的吸收峰,在红外区域,其反射率可达70%.通过理论计算得出了AZO薄膜样品的厚度为101 nm,与台阶仪测量的结果基本相符.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李丽	重庆邮电大学数理学院	34	83	6.0	8.0
2	刘素芳	郑州铁路职业技术学院信息工程系	19	45	4.0	5.0
3	江莎	重庆邮电大学数理学院	19	16	2.0	3.0
4	刘子贻	重庆邮电大学光电工程学院	1	9	1.0	1.0