粉末靶制备的AZO/Ag/AZO透明导电薄膜的光电性能

• 作者: 刘思宁 吴川 吴法宇 周艳文
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多层透明导电薄膜 金属基透明导电薄膜 粉末靶 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 所属期刊栏目: 器件制备及器件物理
• 页码范围: 1427-1433
• 页数: 7页
• 分类号: O484.4|TM24
• 字数: 4657字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/fgxb20153612.1427

摘要

室温下,采用射频磁控溅射AZO粉末靶和Ag靶在玻璃基底上制备Ag层厚度分别为12 nm和15 nm两组对称结构掺铝氧化锌/银/掺铝氧化锌（ AZO/Ag/AZO）透明导电薄膜,研究了Ag层和AZO层厚度对薄膜光电性能的影响。结果表明：3层薄膜的可见光区平均透光率达到了80%,550 nm处的最高透过率达到了88%,方块电阻小于5Ω/□。 Ag层厚度是影响AZO/Ag/AZO薄膜光电性能的主要因素,AZO层的厚度对薄膜光学性能影响较大。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴川	辽宁科技大学材料与冶金学院	3	2	1.0	1.0
2	周艳文	辽宁科技大学材料与冶金学院	46	32	3.0	5.0
3	吴法宇	辽宁科技大学材料与冶金学院	14	10	2.0	2.0
4	刘思宁	辽宁科技大学材料与冶金学院	5	4	1.0	1.0