钇对CrAlTiN薄膜基体结合强度的影响研究

• 作者: 刘兆政 刘耀辉 蒋百灵
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 稀土Y 磁控溅射 结合力 AFM
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 56-60
• 页数: 5页
• 分类号: TG178
• 字数: 2824字
• 语种: 中文

摘要

本文研究了Al靶中加入不同含量的稀土钇(Y)对CrAlTiN薄膜结合强度的影响.并应用原子力显微镜(AFM)、能谱仪(EDS)、纳米压入仪、划痕试验仪、激光共焦显微镜(CLSM)对薄膜样品进行了观察与分析.结果表明,CrAlTiN薄膜中稀土元素Y的加入使得Al元素单位时间内沉积量提高,CrAlTiN薄膜晶粒细化,提高其塑性和韧性,减少裂纹倾向,从而提高了CrAlTiN薄膜与基体的结合强度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋百灵	西安理工大学材料科学与工程学院	241	5240	40.0	64.0
2	刘耀辉	吉林大学材料科学与工程学院	84	1118	16.0	30.0
3	刘兆政	吉林大学材料科学与工程学院	5	21	2.0	4.0