碲镉汞液相外延薄膜典型缺陷及其起源分析

• 作者: 刘铭 周立庆
• 来源期刊: 激光与红外
• 学科: 工学
• 关键词: HgCdTe 液相外延 缺陷 CdZnTe衬底
• 年，卷（期）: 2009,（3）
• 所属期刊栏目: 红外材料与器件
• 页码范围: 280-284
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 字数: 3299字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5078.2009.03.014

摘要

通过碲镉汞液相外延薄膜的典型缺陷的研究,结合国内外的研究现状,综述了各种缺陷的特征、起因、消除方法等.通过对HgCdTe液相外延层中常见的缺陷进行归纳和总结,探讨各种缺陷的可能起因,以达到提高液相外延工艺水平的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周立庆		41	106	5.0	8.0
2	刘铭		41	93	5.0	8.0