正压漏孔校准装置优化设计

• 作者: 冯焱 卢耀文 张涤新 徐婕 成永军 赵光平 赵澜
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计量学 正压漏孔 漏率校准 校准装置 优化设计
• 年，卷（期）: 2009,（4）
• 所属期刊栏目: 测量与控制
• 页码范围: 72-75
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 3386字
• 语种: 中文

摘要

针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法.采用特殊设计,将定容室的容积减小到10 mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限.采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02 K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度.在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1 mm的精密细活塞及适用的动密封结构.可以将测量下限延伸到10-7Pa·m3/s 量级.通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7 Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯焱		51	463	12.0	17.0
2	张涤新		62	468	12.0	17.0
3	卢耀文		15	127	8.0	10.0
4	赵澜		28	161	8.0	10.0
5	成永军		39	271	9.0	13.0
6	徐婕		10	74	6.0	8.0
7	赵光平		10	47	4.0	6.0