GaAs光电阴极智能激活研究

• 作者: 乔建良 常本康 张益军 杨智 熊雅娟 牛军 石峰 钱芸生 高频
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: GaAs光电阴极 智能激活 光电流 光谱响应
• 年，卷（期）: 2009,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 669-672
• 页数: 4页
• 分类号: TN223
• 字数: 3349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2009.06.15

摘要

研制了一套基于计算机控制的GaAs光电阴极智能激活系统,该系统可在计算机控制下严格按照标准工艺对GaAs光电阴极进行智能激活,并可在线测量阴极的光谱响应曲线.利用该系统分别进行了智能激活和人工激活实验,采集了激活过程中的光电流变化曲线,分析发现,和智能激活过程相比,由于人工激活过程出现了误操作,相邻光电流峰值间的差值下降很快,Cs、O交替的次数也较少.人工激活过程中Cs、O交替6次,光电流最大值为43μA,激活后GaAs光电阴极的积分灵敏度为796μA/lm.智能激活过程中Cs、O交替9次,光电流最大值为65μA,激活后GaAs光电阴极的积分灵敏度为1100μA/lm.