Sol-Gel提拉法制备ZAO薄膜及其光电性能

• 作者: 李海峰 沈长斌 薛钰芝
• 来源期刊: 大连交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: Sol-Gel 提拉法 ZAO薄膜 电阻率 透光率
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 25-29
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.21|O484.1
• 字数: 1729字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-9590.2009.01.007

摘要

采用溶胶-凝胶(Sol-Gel)浸渍提拉法(基于组装的小型提拉装置)在普通玻璃片上制备出ZnO∶Al(ZAO)薄膜,利用扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计、数字式四探针测试仪等检测手段分别对其进行了分析比较.结果表明:Al3+浓度为1.0%的ZAO薄膜表面最为致密均匀;随着退火温度的提高,薄膜的晶体平均粒径明显增大,电阻率逐渐减小;不同掺Al量的ZAO薄膜在可见光区的平均透光率均在70%以上,当Al3+浓度为1.5%时,550℃退火2h,电阻率最小,为5.9×10-2Ω*cm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛钰芝	大连交通大学材料科学与工程学院	31	128	6.0	9.0
2	沈长斌	大连交通大学材料科学与工程学院	40	207	9.0	12.0
3	李海峰	大连交通大学材料科学与工程学院	9	16	3.0	3.0