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摘要:
通过模拟计算设计出一种透射比为99%、包含一层TiO2薄膜和一层SiO2薄膜的宽带高增透膜.两层薄膜均由溶胶-凝胶法制得并采用提拉法成形于玻璃基片上.对增透膜样品的透射比、表面形貌、膜厚等进行了表征,考察了提拉速度、退火温度、催化条件等对其透射比、表面均匀性的影响.结果表明:增透膜的使用提高了玻璃基片的透射比;当提拉速度为9 cm/min,增透膜厚约为255 nm时,基片在400~800 nm波段的透射比提高了7%.控制退火温度,可以使增透膜在某些波段的透射比增强.增透膜样品的表面均匀性良好,室温下膜层的均方根表面粗糙度(RMS) 为1.682,平均粗糙度(RA)为1.208,在550 ℃的温度以下,随着退火温度升高,表面粗糙度降低.
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关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 sol-gel法制备纳米TiO2-SiO2宽带高增透膜
来源期刊 电子元件与材料 学科 物理学
关键词 增透膜 透射率 sol-gel法 膜系设计 表面形貌
年,卷(期) 2009,(9) 所属期刊栏目 研究与试制
研究方向 页码范围 1-4
页数 4页 分类号 O484
字数 3278字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-2028.2009.09.001
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 王永强 河南理工大学理化系 12 103 7.0 10.0
2 胡晓云 西北大学物理系 61 437 12.0 16.0
3 潘静 西北大学物理系 9 52 6.0 7.0
4 郑娜 西北大学物理系 3 30 2.0 3.0
5 李白存 西北大学化工学院 5 43 4.0 5.0
6 康浩 西北大学物理系 2 10 2.0 2.0
7 郭庆磊 西北大学物理系 3 14 2.0 3.0
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研究主题发展历程
节点文献
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透射率
sol-gel法
膜系设计
表面形貌
研究起点
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期刊影响力
电子元件与材料
月刊
1001-2028
51-1241/TN
大16开
成都市一环路东二段8号宏明商厦702室
62-36
1982
chi
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