退火气氛对SnO2薄膜结构与成分的影响

• 作者: 杜军 毛昌辉 王磊
• 来源期刊: 材料导报：纳米与新材料专辑
• 学科: 化学
• 关键词: 二氧化锡 薄膜 反应磁控溅射 退火气氛
• 年，卷（期）: 2009,（2）
• 页码范围: 61-63
• 页数: 3页
• 分类号: O643

摘要

研究了低氧分压反应溅射法生长的SnO2薄膜于600℃ O2气氛和Ar气氛退火处理后的表面形貌、晶体结构以及表面成分，发现经氧化性气氛退火处理的SnO2为具有金红石结构的表面多孔薄膜。相比较而言，Ar气氛退火处理后的SnO2薄膜表面较为致密，相结构包含未氧化完全的β-Sn。XPS分析进一步表明，氧化性气氛退火形成单一组分的SnO2，而惰性气氛退火后薄膜表面含有Sn、SnO和SnO2。另外，研究还发现薄膜表面吸附氧形态与退火气氛有关。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜军		75	496	13.0	17.0
2	王磊		38	221	9.0	12.0
3	毛昌辉		60	564	12.0	21.0