热处理气氛对ZnO透明导电膜性能的影响

• 作者: 张凯红 赵宏生 靳正国
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 AZO薄膜 FZO薄膜 光电性能
• 年，卷（期）: 2009,（10）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1647-1649
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.2
• 字数: 2447字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1001-9731.2009.10.017

摘要

采用溶胶-凝胶法、在空气、Ar气、H2气中热处理制备Al3+、F-掺杂的致密ZnO薄膜.利用XRD、SEM、分光光度计和四探针测试仪对薄膜性质进行表征.研究表明,强还原性H2气处理促进了薄膜晶界中吸附氧的解吸,减少了晶界处缺陷数目,有利于薄膜晶化程度和载流子浓度提高,所制得掺杂ZnO薄膜最低方阻为10Ω/□,在可见光范围内的达透射率在可达90%以上,性能接近ITO导电薄膜.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳正国	天津大学先进陶瓷与加工实验室	55	517	13.0	18.0
2	赵宏生	清华大学核能与新能源技术研究院	33	285	10.0	15.0
3	张凯红	清华大学核能与新能源技术研究院	8	80	4.0	8.0