纳秒激光辐照对类金刚石薄膜的损伤及改性

• 作者: 唐多昌 李国强 李晓红 杨宏道 袁春华
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石薄膜 激光辐照 激光损伤 激光改性
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 所属期刊栏目: 薄膜光学
• 页码范围: 135-138,144
• 分类号: O484
• 字数: 4237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2010.07.025

摘要

利用Nd:YAG纳秒激光(波长分别为355、532和1 064 nm)辐照由电子束蒸发技术制备的类金刚石(DLC)薄膜,通过光学显微镜、光学轮廓仪和拉曼光谱仪等分析了辐照后的薄膜样品,结果表明:不同波长的单脉冲激光辐照时,DLC膜的激光损伤阈值不同;同一波长的多脉冲激光辐照时,损伤阈值低于单脉冲辐照阈值;脉冲激光辐照对DLC膜具有改性作用,受辐照薄膜区域表层发生了石墨化、剥落和气化效应,致使DLC膜表面出现了隆起和弹坑,隆起高度和弹坑深度与激光能量密度大小和脉冲个数有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨宏道	西南科技大学理学院激光与光电子实验室	6	82	4.0	6.0
3	李晓红	西南科技大学理学院激光与光电子实验室	15	101	6.0	10.0
5	李国强	西南科技大学理学院激光与光电子实验室	4	22	3.0	4.0
7	袁春华	西南科技大学理学院激光与光电子实验室	7	82	4.0	7.0
9	唐多昌	西南科技大学理学院激光与光电子实验室	6	81	4.0	6.0