带阶梯栅氧的N-LDMOS晶体管热载流子退化分析

• 作者: 刘斯扬 孙伟锋 钱钦松
• 来源期刊: 东南大学学报（英文版）
• 学科: 工学
• 关键词: 热载流子 退化 阶梯栅氧 N型横向双扩散金属氧化物半导体管
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 17-20
• 分类号: TN386
• 字数: 700字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7985.2010.01.004

摘要

为了减小高压N-LDMOS器件的热载流子效应并维持其开态特性,提出了一种带有阶梯栅氧的新型N-LDMOS器件结构.与传统的N-LDMOS器件相比,其栅极下方Si-SiO2界面处的电场强度明显减弱,因而可以有效地减少器件的热载流子效应,而该阶梯栅氧结构可以通过功率集成电路工艺中普遍采用的栅氧生长方法进行2次栅氧生长来获得.采用TCAD仿真技术对传统的N-LDMOS器件和所提出的新型N-LDMOS器件的热载流子退化现象进行了对比和分析,并在维持原有器件特性参数的基础上得出了新型N-LDMOS器件中厚栅氧部分的最优长度.最后,通过选取某些特性参数进行了实际的器件退化测试,结果表明该新型N-LDMOS器件的热载流子退化现象得到了很大的改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙伟锋	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	105	634	13.0	19.0
2	钱钦松	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	14	56	5.0	6.0
3	刘斯扬	东南大学国家专用集成电路系统工程技术研究中心	21	54	4.0	5.0