温度对化学气相沉积钨组织与表面形貌的影响

• 作者: 王从曾 范爱玲 马捷 魏建忠
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 钨 组织 表面形貌
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.444
• 字数: 1316字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2010.01.006

摘要

以WF_6和H_2为原料,采用化学气相沉积法在纯铜基体上沉积出难熔金属钨涂层.分析研究了不同沉积温度(500 ℃, 600 ℃, 700 ℃)沉积层显微组织、表面形貌、表面粗糙度及相关机制.试验分析表明:随沉积温度升高,沉积速率加快,涂层组织柱状晶生长取向趋于杂乱;沉积层表面形貌发生明显改变,表面粗糙度显著增加.杂质颗粒对沉积组织有显著的影响,造成沉积表面粗糙度显著增加.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马捷		6	102	6.0	6.0
2	王从曾		6	102	6.0	6.0
3	魏建忠		1	10	1.0	1.0
4	范爱玲		1	10	1.0	1.0