铝阳极氧化膜耐电压机制研究

• 作者: 冯哲圣 孙保瑞 梁孜
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 铝阳极氧化膜 耐电压 充电电流 漏电流
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 18-20
• 分类号: TM535
• 字数: 1800字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.06.006

摘要

建立了(+)Al2/Al2O3/电解液(一)系统耐电压模型.在该模型中,耐电压测试时施加于样品系统上的恒稳测试电流被分离成了介质层充电电流及缺陷漏电流两部分.使用该模型对恒稳电流下铝阳极氧化膜耐电压随时间的变化进行了模拟,模拟结果与实测值几乎完全重合,并准确预测出了铝阳极氧化膜升压时间及180 S时的耐压值.另外,对铝阳极氧化膜耐电压曲线进行了初步解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯哲圣	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	44	541	13.0	22.0
2	梁孜	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0
3	孙保瑞	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	1	2	1.0	1.0