γ射线和原子氧辐照对ZnO:Al薄膜的影响

• 作者: 刁训刚 王天民 王文文
• 来源期刊: 宇航材料工艺
• 学科: 航空航天
• 关键词: 透明导电氧化物 ZnO:Al薄膜 γ射线 原子氧 电学性能
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 新材料新工艺
• 页码范围: 39-43
• 分类号: V4
• 字数: 3723字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2330.2010.03.010

摘要

利用直流磁控溅射法制备了两组ZAO薄膜,使用60Co放射源对一组薄膜进行了γ射线辐照,在原子氧地面模拟设备中对另一组进行了原子氧辐照,并对辐照前后的样品进行了微观结构、表面形貌及电学特性的表征.结果表明,较高剂量率的γ射线辐照会降低薄膜的结晶程度,而低剂量率的辐照有相反作用.γ射线可激发薄膜中的电子,提高其载流子浓度,最大比率为16.39%.AO辐照仅对ZAO薄膜的表面具有氧化效应,导致表面化学成分中晶格氧比例的提高和薄膜载流子浓度的下降.随着薄膜厚度的增大,载流子浓度的下降比例逐渐减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王天民	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	140	1545	22.0	32.0
2	刁训刚	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	55	359	10.0	16.0
3	王文文	北京航空航天大学物理科学与核能工程学院	20	103	5.0	9.0