气相沉积法的薄膜制备研究

• 作者: 周细应 言智 陈晖
• 来源期刊: 上海工程技术大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 气相沉积法 绿色镀膜
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 167-172
• 分类号: TB43
• 字数: 5985字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-444X.2010.02.018

摘要

对薄膜的应用现状、气相沉积法制备薄膜的常规方法及高能精密薄膜制备方法作了综述.认为开发薄膜复合处理工艺,实现制膜过程精密控制,以及节能环保的绿色镀膜将会成为薄膜制备新的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周细应	上海工程技术大学材料工程学院	114	777	15.0	25.0
2	陈晖	上海工程技术大学材料工程学院	10	192	6.0	10.0
3	言智	上海工程技术大学材料工程学院	14	89	5.0	9.0