LED用蓝宝石晶体衬底激光划片工艺

• 作者: 肖娜 郭琛
• 来源期刊: 中国照明电器
• 学科: 工学
• 关键词: 蓝宝石衬底 激光划片 精密切割 LED衬底加工
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 经验交流
• 页码范围: 26-29
• 页数: 4页
• 分类号: TM92
• 字数: 3168字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-6150.2010.03.006

摘要

本文对采用355nm和266nm波长激光在不同参数下切割蓝宝石衬底的效果进行比较,对如何取得好的切割效果和表面质量进行研究,实验结果表明266nm激光更加适合进行蓝宝石衬底的切割,并且给出了获得更好的加工后表面质量的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭琛		1	8	1.0	1.0
2	肖娜		1	8	1.0	1.0