基于小区域跟踪的多晶硅视频检测系统

• 作者: 冯中正 周秀云 黄建国
• 来源期刊: 西南交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 机器视觉 微弱信号 图像分割 小区域跟踪 系统标定
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 430-434
• 分类号: TP391
• 字数: 2876字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0258-2724.2010.03.019

摘要

为实时测量多晶硅棒直径,研制了多晶硅棒径在线视频检测系统.该系统采用双相机成像的机器视觉方法实现目标硅棒的监测,采用左中右差分的图像分割技术提取目标,采用基于小区域的质心跟踪算法跟踪目标.系统标定后,可实时测量还原炉内多晶硅棒的直径.实验结果表明:该系统能检测微弱边缘,在直径为8～150 mm的范围内,测量精度高于工业视觉图像测量的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周秀云	电子科技大学自动化工程学院	13	67	5.0	7.0
2	黄建国	电子科技大学自动化工程学院	94	689	13.0	23.0
3	冯中正	电子科技大学自动化工程学院	2	7	2.0	2.0