双极型晶体管高功率微波的损伤机理

• 作者: 张玲 范菊平 贾新章
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 工学
• 关键词: 高功率微波 晶体管 损伤 失效分析
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 高功率微波
• 页码范围: 1319-1322
• 分类号: TN015
• 字数: 2617字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/HPLPB20102206.1319

摘要

在模拟集成电路的抗高功率微波加固研究中,对电路中的单个晶体管进行高功率微波损伤机理研究.对晶体管进行洲入微波损伤效应实验和失效分析,得到了双极型晶体管损伤的基本规律.损伤效应实验采用注入法,分别从晶体管的三极注入微波,得到了损伤结果.对样品进行的失效分析探明了器件的损伤部位和失效机理.结果表明,高功率微波注入主要造成B-E结的退化和损伤;从基极注入微波最易损伤晶体管,而从集电极注入则相反.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾新章		10	150	5.0	10.0
2	范菊平		7	117	6.0	7.0
6	张玲		1	32	1.0	1.0