微波脉冲对硅基双极型晶体管的损伤特性

• 作者: 张存波 张建德 杜广星 王弘刚
• 来源期刊: 国防科技大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 硅基双极型晶体管 微波脉冲 击穿 失效分析
• 年，卷（期）: 2015,（2）
• 所属期刊栏目: 专题:高功率微波技术
• 页码范围: 1-4
• 页数: 4页
• 分类号: TN015
• 字数: 3026字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11887/j.cn.201502001

摘要

利用微波脉冲注入实验平台，对硅基双极型晶体管低噪声放大器进行了损伤效应实验。在微波脉冲对硅基双极型晶体管低噪声放大器损伤的失效分析中，当低噪声放大器增益下降大于10dB 时，发现硅基双极型晶体管出现了永久损伤。通过对比测量硅基双极型晶体管损伤前后的电特性以及利用扫描电子显微镜观测损伤后晶体管的微观特性发现：硅基双极型晶体管被微波脉冲损伤后，基区的硅材料烧蚀导致发射结和集电结短路，不再具有 PN 结特性，导致器件失效。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张建德	国防科技大学光电科学与工程学院	27	107	6.0	8.0
2	王弘刚	国防科技大学光电科学与工程学院	7	18	3.0	4.0
3	杜广星	国防科技大学光电科学与工程学院	3	3	1.0	1.0
4	张存波	国防科技大学光电科学与工程学院	1	3	1.0	1.0