离子束溅射制备CdS多晶薄膜及性能研究

• 作者: 张东平 李盛艺 梁广兴 池京容 范平 蔡兴民
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 工学
• 关键词: CdS薄膜 离子束溅射 微结构 光电性能
• 年，卷（期）: 2010,（z2）
• 页码范围: 239-242
• 分类号: TK514|TB43
• 字数: 2955字
• 语种: 中文

摘要

采用离子束溅射的方法在玻璃衬底上制备CdS多晶薄膜,研究了沉积过程中基底温度(100～400℃)与薄膜厚度(35～200nm)对其微结构与光电性能的影响.结果表明,不同基底温度下制备的CdS薄膜均属于六方相多晶结构且具有(002)择优取向生长特征;随着基底温度的升高,(002)特征衍射峰强度增加,半高宽变小相应薄膜结晶度增大,有利于颗粒的生长;分析CdS薄膜的光谱图线可知,薄膜在可见光区平均透射率高于75%,光学带隙值随着基底温度升高而增大(2.33～2.42eV)且薄膜电阻高达109Ω;在基底温度为400℃条件下制备不同厚度的CdS薄膜,发现(50～100nm)较薄的CdS薄膜具有较为明显的六方相CdS多晶薄膜结构、较优光学性能和高电阻值,满足CIS基太阳电池中缓冲层材料的基本要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	范平	深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所	14	136	8.0	11.0
2	梁广兴	深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所	4	31	2.0	4.0
3	张东平	深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所	7	53	5.0	7.0
4	蔡兴民	深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所	4	31	2.0	4.0
5	池京容	深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所	1	2	1.0	1.0
6	李盛艺	深圳大学物理科学与技术学院薄膜物理与应用研究所	1	2	1.0	1.0