装片机晶片台运动控制系统的分析

• 作者: 任绍彬 徐品烈 郝靖
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 高速粘片机 电机选型计算 运动控制技术 PID
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 12-16,25
• 分类号: TN305
• 字数: 4091字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2010.05.004

摘要

论述了装片机晶片台伺服电机选型计算和运动控制技术,采用伺服电机构成了半闭环反馈控制系统,实现了晶片台的高速、高精度定位控制.