气体微流量测量技术的发展

• 作者: 冯焱 宋瑞海 张涤新 成永军 赵澜
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 气体微流量 气体微流量计 测量装置
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 1-6
• 页数: 6页
• 分类号: TB77
• 字数: 2579字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了美国NIST、德国FIB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯焱		51	463	12.0	17.0
2	张涤新		62	468	12.0	17.0
3	赵澜		28	161	8.0	10.0
4	成永军		39	271	9.0	13.0
5	宋瑞海		4	11	2.0	3.0