硅片线锯砂浆中硅粉与碳化硅粉的泡沫浮选分离回收

• 作者: 周浪 尹传强 熊裕华 魏秀琴 黄美玲
• 来源期刊: 电子元件与材料
• 学科: 工学
• 关键词: 泡沫浮选 线锯砂浆 硅 碳化硅
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 研究与试制
• 页码范围: 74-77
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.057|TQ028.9
• 字数: 2948字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2028.2010.04.020

摘要

以对碳化硅表面有选择性的脂肪酸作为捕收剂,采用泡沫浮选分离方法来分离回收硅片线锯砂浆中的硅和碳化硅粉.研究了捕收剂浓度、起泡剂浓度、浮选溶液的温度及pH值对分离效果的影响.当浮选溶液中捕收剂浓度为0.315 mol/L,起泡剂浓度为0.18 mol/L,温度为70 ℃,pH值为4.5时,分离效果最佳:浮起产物中碳化硅粉质量分数为99.3%,沉淀产物中硅粉质量分数为95.9%.