退火和老化气氛对铝酸钙玻璃上SiO_2薄膜性能影响

• 作者: 祖成奎 赵华 金扬利 韩滨
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 退火 SiO_2薄膜 光学性能 力学性能 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 专题论文
• 页码范围: 116-120
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3356字
• 语种: 中文

摘要

将用IAD法在CAB玻璃基体上沉积的SiO_2薄膜在600℃条件下部分进行退火,然后在不同湿度气氛中进行老化处理.利用分光光度计、纳米硬度计和扫描电镜研究了退火处理及不同老化气氛对SiO_2薄膜的光谱性能、硬度及摩擦性能的影响.实验结果如下:虽然退火和老化方式影响SiO_2薄膜的结构,但不同处理的SiO_2膜层表面摩擦系数均小于CAB玻璃基体,退火处理后的SiO_2薄膜硬度高于不退火处理的SiO_2薄膜硬度;SiO_2薄膜在可见光区内对CAB玻璃能够起到有效的增透作用;退火处理后红外透过率提高.实验结果表明CAB玻璃表面镀SiO_2薄膜在不损害光谱性能的同时可以起到有效地防护作用,显著提高其耐摩性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	祖成奎		45	202	7.0	12.0
2	韩滨		22	106	7.0	9.0
3	赵华		13	34	4.0	5.0
4	金扬利		11	37	4.0	5.0