化学预处理对微型钻头沉积类金刚石薄膜附着力的影响

• 作者: 李衍飞
• 来源期刊: 硬质合金
• 学科: 物理学
• 关键词: 类金刚石(DLC)薄膜 表面腐蚀 Murakami试剂 附着力
• 年，卷（期）: 2011,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 300-304
• 分类号: O484.5
• 字数: 2031字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7292.2011.05.006

摘要

在刀具上沉积类金刚石(DLC)薄膜的关键技术问题是如何提高DLC薄膜的附着力,以发挥DLC薄膜在刀具涂层领域的优势.本文通过对微型钻头表面进行不同的化学预处理后利用射频等离子体化学气相沉法沉积DLC薄膜,对影响膜基附着力的内在规律进行了探讨.结果表明:采用简单酸碱腐蚀(先后使用NaOH溶液和HNO3溶液进行腐蚀)对DLC薄膜附着力的提高有一定作用,而综合腐蚀(首先使用酸碱腐蚀,然后使用Murakami试剂腐蚀)的效果更佳;此外,使用Murakami试剂腐蚀时间过长(超过6 min)会影响钻头本体的机械强度.实验结果对于DLC薄膜作为微型钻头涂层的应用具有很好的指导意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李衍飞	泰山学院材料与化学工程系	13	51	4.0	7.0