自动排片机在IC芯片分选中的应用研究

• 作者: 郎平 郭东
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 排片机 真空 压力 控制
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 所属期刊栏目: IC制造与设备
• 页码范围: 21-24,33
• 分类号: TN605
• 字数: 2462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.04.005

摘要

介绍了针对排片机(又称挑粒机)将IC芯片与蓝膜分离并置于片盒中的过程中,如何控制拾取与放置的动作,以及芯片取放过程中的时间、真空和压力控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭东	中国电子科技集团公司第四十五研究所	2	2	1.0	1.0
2	郎平	中国电子科技集团公司第四十五研究所	3	3	1.0	1.0