多晶制绒工艺与设备的研究

• 作者: 于皓洁 姚雁林 林立
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 酸制绒 进液量 溢流量
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 页码范围: 27-28,63
• 分类号: TH132
• 字数: 1609字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.01.009

摘要

对多晶硅片的制绒方法进行了比较,分析了多晶酸制绒的反应机理,在此基础上设计研究了针对多晶酸制绒的设备.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	于皓洁		1	3	1.0	1.0
2	林立		1	3	1.0	1.0
3	姚雁林		1	3	1.0	1.0