金刚石线锯切割多晶硅片表面制绒工艺研究

• 作者: 李佳艳 武晓玮 谭毅
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石线锯 多晶硅 制绒 反射率
• 年，卷（期）: 2017,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 985-990
• 页数: 6页
• 分类号: TM914
• 字数: 3472字
• 语种: 中文
• DOI: 10.15541/jim20160664

摘要

晶体硅片的制绒技术是太阳能电池制造工艺中的关键步骤.本研究以工业中酸制绒方法为基础,研究了腐蚀时间、浓度对绒面结构以及反射率的影响.此外,还采用金属催化化学腐蚀法进行制绒,选用氢氟酸和硝酸银作为腐蚀液.而且对两种制绒方法效果进行了对比.研究获得的最优绒面结构及反射率结果的实验条件为:氢氟酸浓度4.6 mol/L、硝酸银浓度0.02 mol/L,室温下反应90 min,得到的平均反射率为8%,远低于目前多晶硅片制绒生产标准.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭毅	大连理工大学材料科学与工程学院	50	241	10.0	13.0
3	李佳艳	大连理工大学材料科学与工程学院	22	66	5.0	7.0
9	武晓玮	大连理工大学材料科学与工程学院	2	9	2.0	2.0