化学气相沉积钨管开裂原因分析

• 作者: 王从曾 蒙丽娟 马捷 魏建忠
• 来源期刊: 中国表面工程
• 学科: 工学
• 关键词: 化学气相沉积 钨管 开裂 残余应力
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 表面工程研究
• 页码范围: 29-32,39
• 分类号: TG174.444|TG146.411
• 字数: 1391字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2011.01.007

摘要

采用切环测量法及X射线应力分析方法对化学气相沉积制备的开裂钨管进行测量与分析.结果表明,在钨管内表面较大残余拉应力作用下,裂纹萌生于钨管内表面两个邻近柱状晶的晶界,沿柱状晶的晶界向钨管外壁扩展;钨管外表面存在较大的残余压应力对裂纹的继续扩展起阻碍作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	魏建忠	北京工业大学材料学院	49	243	8.0	14.0
2	马捷	北京工业大学材料学院	39	235	9.0	13.0
3	王从曾	北京工业大学材料学院	37	306	11.0	16.0
4	蒙丽娟	北京工业大学材料学院	2	9	2.0	2.0