硅中氮的二次离子质谱(SIMS)定量分析

• 作者: 何友琴 王东雪 马农农
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 硅氮 相对灵敏度因子 二次离子质谱 扫描面积
• 年，卷（期）: 2011,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 52-53,57
• 分类号: TQ171.651
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2011.03.015

摘要

本文采用相对灵敏度因子法,对硅中氮含量的SIMS定量分析方法进行研究.通过运用改变一次束扫描面积的方法,氮的检测限可达到2.0×1014atoms/cm3,比常规测试能力提高一个量级.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马农农		5	22	3.0	4.0
2	何友琴		4	21	3.0	4.0
3	王东雪		3	20	3.0	3.0