柔性结构技术在精密工件台中的应用

• 作者: 吴立伟 方洁 董俊清 郑椰琴 齐芊枫
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 柔性结构 柔性铰链 旋转刚度 工件台
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 所属期刊栏目: 半导体制造工艺与设备
• 页码范围: 1-6,53
• 分类号: TN305
• 字数: 2734字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2011.09.001

摘要

通常,在半导体设备刚性结构设计中要求零部件有很高的加工制造精度和装配精度,同时易传递振动、热等,并容易引入附加的力和转矩。为降低质量和成本,并提高工作性能,目前在工件台的设计中广泛采用柔性结构设计技术。列举了常见柔性件结构形式,并分析了不同结构形式柔性件的旋转刚度和精度等特性。同时,根据工件台的实际工作状态和性能需求,选取适用的柔性件结构形式,并结合弹性静力学的理论公式,进行工件台中常用柔性件设计和计算。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	齐芊枫		3	12	2.0	3.0
2	郑椰琴		1	4	1.0	1.0
3	吴立伟		2	5	1.0	2.0
4	方洁		2	5	1.0	2.0
5	董俊清		1	4	1.0	1.0