基于共焦法的透镜厚度测量系统设计

• 作者: 乔杨 刘涛 张宁 徐熙平
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透镜厚度测量 共焦法 光学系统设计
• 年，卷（期）: 2011,（7）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 1635-1641
• 分类号: TH741
• 字数: 2742字
• 语种: 中文

摘要

研究通过分析共焦法检测透镜厚度的原理,并结合实际,给出了共焦光学系统的设计指标及要求,据此设计了一套共焦光学系统,结合光纤、耦合器、光谱仪等设备构成了基于共焦原理的透镜厚度测量系统.文中分析了本共焦光学系统的公差,分析结果表明,所给公差相对较宽松,整个光学系统设计合理,且在此公差下,本光学系统仍能清晰成像.本系统的测量范围至少为15 mm,可以有较广泛的应用.对于普通的K9玻璃,本检测系统的测量范围可达23.4 mm,测量精度为1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐熙平	长春理工大学光电工程学院	150	763	14.0	21.0
2	张宁	长春理工大学光电工程学院	46	192	8.0	12.0
3	乔杨	长春理工大学光电工程学院	22	131	6.0	11.0
4	刘涛	长春理工大学光电工程学院	21	105	5.0	10.0