超精密气浮定位平台动力学特性分析

• 作者: 宛敏红 张杰 李冶夫
• 来源期刊: 机械设计与制造
• 学科: 工学
• 关键词: 气浮定位平台 有限元分析 模态分析 超精密
• 年，卷（期）: 2011,（1）
• 所属期刊栏目: 信息技术
• 页码范围: 219-221
• 分类号: TH113
• 字数: 1665字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3997.2011.01.087

摘要

设计了一种超精密气浮定位平台,并运用Ansys对导轨和滑台分别作了有限元模态分析,校核了其动态刚度.在此基础上,分析了导轨的厚度对导轨刚度的影响以及滑台顶板厚度对滑台刚度的影响,为结构的优化设计提供了参考依据.分析结果显示,定位平台的刚度满足设计要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张杰	中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省磁性材料及其应用技术重点实验室	268	1793	21.0	28.0
2	宛敏红	中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省磁性材料及其应用技术重点实验室	3	11	2.0	3.0
3	李冶夫	中国科学院宁波材料技术与工程研究所浙江省磁性材料及其应用技术重点实验室	1	8	1.0	1.0