氮气压强对脉冲激光沉积类金刚石薄膜和红外光学特性的影响

• 作者: 储雅琼 方晓东 汪毅 罗乐 陶汝华 高健
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 类金刚石 脉冲激光沉积法 氮气压强 微结构 傅里叶变换红外光谱
• 年，卷（期）: 2011,（9）
• 页码范围: 143-148
• 页数: 6页
• 分类号: TN249|O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201138.0907001

摘要

为了研究氮气压强对脉冲激光沉积(PLD)类金刚石(DLC)薄膜和红外光学特性的影响,在脉冲激光沉积类金刚石薄膜的实验过程中,把沉积腔抽真空到10-5 Pa,再在沉积腔中分别充入10-3、10-2和10-1 Pa的氮气来沉积类金刚石薄膜.用拉曼光谱仪和X射线光电子能谱仪(XPS)对类金刚石薄膜的微结构与组成进行检测分析；用原子力显微镜(AFM)对薄膜的表面形貌进行检测分析；用傅里叶变换红外光谱仪(FTIR)对类金刚石薄膜的红外光透射谱进行检测分析.实验结果表明,沉积腔中的氮气压强从10-3 Pa增加到10-1 Pa时,类金刚石薄膜中sp3键含量增加；C-O和C=O含量减少；石墨晶粒尺寸减小；薄膜表面粗糙度显著增大.与此同时,氮气压强增加还导致类金刚石薄膜对红外光的增透作用减弱、增透范围变窄.