MSM结构ZnO/Cu薄膜的接触特性

• 作者: 宋连科 张立春 李清山 董艳锋
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 Cu 电极 金属半导体金属结构 欧姆接触
• 年，卷（期）: 2012,（4）
• 页码范围: 412-416
• 分类号: O472.4|O484.1
• 字数: 2548字
• 语种: 中文

摘要

利用脉冲激光沉积(PLD)法在Si(111)衬底上分别生长了ZnO薄膜和Cu薄膜,用Cu薄膜作电极,研究了ZnO薄膜与Cu薄膜的接触特性.分别用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和IV测试的方法对样品的晶体质量、结构和电学性质进行了测试.结果表明:样品中ZnO薄膜和Cu薄膜均具有高度的择优取向;当Cu和ZnO直接接触时,样品的IV特性是非线性的;当Cu和ZnO之间通过ZnO∶Cu层间接接触时形成良好的欧姆接触,而且退火后欧姆接触性能明显提高,电阻率降低约2/3.本研究为价格低廉的Cu电极成为ZnO基器件的欧姆电极提供了一定的依据

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李清山	曲阜师范大学物理工程学院	57	249	9.0	12.0
2	张立春	曲阜师范大学物理工程学院	14	25	3.0	3.0
3	董艳锋	曲阜师范大学物理工程学院	18	55	4.0	6.0