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摘要:
本文采用直流磁控溅射技术在玻璃衬底上制备了AZO/Cu、Cu/AZO和AZO/Cu/AZO三种复合结构多层膜,研究了生长温度对多层膜特性的影响,发现AZO/Cu双层薄膜具有最优的光电性能,其最佳生长温度为100~150℃。文中进一步考察了生长温度对AZO/Cu双层薄膜结构性能和表面形貌的影响,结果表明:合适的生长温度有利于改善AZO/Cu双层薄膜的晶体质量,进而提高其光电性能;150℃下沉积的薄膜具有最佳品质因子1.11×10^-2Ω^-1,此时方块电阻为8.99Ω/sq,可见光透过率为80%,近红外反射率约70%。本文在较低温度下制备的AZO/Cu双层膜具有较优的透明导电性和良好的近红外反射性,可以广泛应用于镀膜玻璃、太阳能电池、平板显示器等光电领域。
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 Cu基Al掺杂ZnO多层薄膜的生长和性能
来源期刊 材料科学与工程学报 学科 物理学
关键词 AZO 多层结构薄膜 光电性能 生长温度
年,卷(期) 2012,(5) 所属期刊栏目 研究论文
研究方向 页码范围 684-688,693
页数 分类号 O484
字数 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 叶志镇 浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系 155 1638 21.0 35.0
2 吕建国 浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系 35 769 12.0 27.0
3 王钰萍 浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系 5 16 3.0 4.0
4 叶春丽 浙江大学硅材料国家重点实验室材料科学与工程学系 6 27 3.0 5.0
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研究主题发展历程
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AZO
多层结构薄膜
光电性能
生长温度
研究起点
研究来源
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
材料科学与工程学报
双月刊
1673-2812
33-1307/T
大16开
浙江杭州浙大路38号浙江大学材料系
1983
chi
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4378
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42484
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