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摘要:
采用射频磁控溅射法制备了ZnO/TiO2/Si薄膜,研究了TiO2缓冲层的不同退火气氛对ZnO薄膜的影响.利用X射线衍射分析(XRD)、紫外-可见分光光度计和荧光分光光度计等技术表征了ZnO/TiO2/Si薄膜的微结构和光学特性.XRD结果表明:沉积在经过O2退火缓冲层上的ZnO薄膜具有最好的c轴择优取向;透射吸收谱显示所有ZnO薄膜在可见光区域的平均透过率超过90%;引入未退火缓冲层后薄膜的光学带隙值增大,而缓冲层在真空、氧气进行退火后薄膜的光学带隙值均减小.薄膜的光致发光谱显示:所有样品出现了位于400 nm,450 nm和530 nm的紫光峰、蓝光峰和绿光峰,并对各发光峰的来源进行了探讨.
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 TiO2缓冲层的退火气氛对ZnO薄膜微结构和光学性能的影响
来源期刊 西北师范大学学报(自然科学版) 学科 物理学
关键词 ZnO薄膜 TiO2缓冲层 退火气氛 光致发光谱
年,卷(期) 2012,(6) 所属期刊栏目 物理学
研究方向 页码范围 30-35
页数 分类号 O484.4|O484.5
字数 4043字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1001-988X.2012.06.008
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
ZnO薄膜
TiO2缓冲层
退火气氛
光致发光谱
研究起点
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研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
西北师范大学学报(自然科学版)
双月刊
1001-988X
62-1087/N
大16开
甘肃兰州安宁东路967号
54-53
1942
chi
出版文献量(篇)
3180
总下载数(次)
2
总被引数(次)
17931
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
甘肃省自然科学基金
英文译名:Natural Science Foundation of Gansu Province
官方网址:http://www.nwnu.edu.cn/kjc/glbf/gsshzrkxjjzxglbf.htm
项目类型:
学科类型:
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