光刻机工件台控制系统设计

• 作者: 刘杨 李聪 王公峰
• 来源期刊: 自动化技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: 光刻机工件台 误差分析 状态反馈
• 年，卷（期）: 2012,（10）
• 所属期刊栏目: 工业控制与应用
• 页码范围: 25-30
• 页数: 6页
• 分类号: TP273.4
• 字数: 3157字
• 语种: 中文

摘要

本文针对光刻机工件台技术中所要求的指标,建立了系统的电机模型,设计出终端控制系统,采用三环控制策略,并进行了宏动跟微动的控制策略仿真,并且分析了控制系统的误差,在实际应用中取得了很好的效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘杨	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	55	317	11.0	15.0
2	李聪	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	4	18	3.0	4.0
3	王公峰	哈尔滨工业大学控制科学与工程系	2	13	2.0	2.0