光刻机工件台位移测量系统的设计与实现

• 作者: 李若愚 谢扬球 谭永红 雷兴华
• 来源期刊: 桂林电子工业学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 工件台 位移测量 光栅 DSP
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 60-63
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 2830字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-808X.2005.03.014

摘要

根据所设计光刻机工件台的定位精度要求,选取Renishaw RGH25F直线位移测量光栅作为其位置检测传感器,在此基础上完成了面向TMS320LF2407A DSP接口的工件台位移测量系统的软、硬件设计.实际运行中该测量系统工作稳定、可靠,而且系统还具有重复测量精度高、测量稳定性好和成本相对低廉等优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	雷兴华	桂林电子工业学院智能系统与工业控制研究室	3	17	3.0	3.0
2	谭永红	桂林电子工业学院智能系统与工业控制研究室	46	513	12.0	20.0
3	李若愚	桂林电子工业学院智能系统与工业控制研究室	3	17	3.0	3.0
4	谢扬球	桂林电子工业学院智能系统与工业控制研究室	3	17	3.0	3.0