光刻机工件台宏微电机的非线性复合控制

• 作者: 刘川 孙永倩 陈德运
• 来源期刊: 哈尔滨工程大学学报
• 学科: 航空航天
• 关键词: 光刻机 直线电机 平面电机 推力耦合 非线性复合控制
• 年，卷（期）: 2015,（12）
• 页码范围: 1620-1625
• 页数: 6页
• 分类号: V448.2
• 字数: 4497字
• 语种: 中文
• DOI: 10.11990/jheu.201407075

摘要

针对光刻机工件台长行程直线电机宏动和平面电机高精密微动的耦合运动特点，提出一种宏动跟踪微动的变增益非线性复合控制方法，实现系统高动态纳米级精度的跟踪定位。宏动长行程直线电机采用零相位跟踪前馈控制和双环控制，实现系统无静差跟踪加速度指令；利用扩张状态观测器观测宏动系统的动态变化，补偿系统中的耦合推力和其他扰动；微动平面电机采用变增益非线性控制，根据系统误差幅值的大小，动态的改变控制器增益，以大增益抑制系统加减速时的低频大幅值误差，以小增益避免系统匀速运动时高频噪声的引入。实现系统稳定时间小于30 ms，跟踪误差小于20 nm的跟踪，实验结果表明：该方法可改善系统的动态性能和抗干扰能力，减小系统稳定时间，提高系统的跟踪精度。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈德运	哈尔滨理工大学计算机科学与技术学院	143	1570	22.0	31.0
2	刘川	哈尔滨工业大学航天学院	8	73	5.0	8.0
3	孙永倩	哈尔滨理工大学计算机科学与技术学院	8	21	3.0	3.0