溶胶凝胶法制备Cu掺杂ZnO纳米薄膜及其表征

• 作者: 姜永辉 巴德纯 李建昌 王博锋
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 溶胶-凝胶法 氧化锌薄膜 Cu掺杂 光电特性
• 年，卷（期）: 2012,（3）
• 所属期刊栏目: 功能薄膜
• 页码范围: 236-239
• 分类号: O484
• 字数: 3231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2012.03.11

摘要

采用溶胶-凝胶法制备了不同Cu掺杂浓度的ZnO薄膜,并通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外可见分光光度计和伏安特性测试等研究了Cu掺杂量对薄膜微观结构、表面形貌及光电特性的影响.结果表明:所得Cu掺杂ZnO薄膜为六角纤锌矿多晶结构,有CuO杂质相生成.随Cu掺杂量的增加,薄膜晶粒长大,且样品粒度均匀,平均粒径约53 nm.Cu掺杂ZnO薄膜具有良好的透光性,在可见光范围内的平均透射率超过80％,最大可达90％以上.Cu掺杂浓度为0.001％时,所得ZnO薄膜的导电性明显优于其他掺杂条件下的样品.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程及自动化学院真空与流体工程中心	250	1491	18.0	22.0
2	李建昌	东北大学机械工程及自动化学院真空与流体工程中心	42	214	9.0	13.0
3	王博锋	东北大学机械工程及自动化学院真空与流体工程中心	3	25	3.0	3.0
4	姜永辉	东北大学机械工程及自动化学院真空与流体工程中心	5	42	3.0	5.0