论超高压汞灯特性和控制方式

• 作者: 刘卫平
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超高压汞灯 光强控制 传感器 光积分
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 光刻技术与设备
• 页码范围: 35-39
• 页数: 5页
• 分类号: TM923.322
• 字数: 3015字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2012.08.008

摘要

分析了超高压汞灯的特性和对电源的控制要求,对各种控制方式进行了归纳和比较,提出了最佳的方案。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘卫平	中国电子科技集团公司第四十五研究所	6	4	1.0	2.0