化学增幅型光致抗蚀剂用光产酸剂

• 作者: 刘玉芹 孟磊 徐娜 王金铃
• 来源期刊: 吉林化工学院学报
• 学科: 工学
• 关键词: 化学增幅 光致抗蚀剂 光产酸剂
• 年，卷（期）: 2012,（11）
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TN304
• 字数: 1820字
• 语种: 中文

摘要

综述了用于化学增幅型光致抗蚀剂的光产酸剂及机理，对于几种常用的离子型和非离子型光产酸剂分别进行了阐述，并对其特性和应用做了简单介绍．