光刻机照明系统中光束稳定技术研究

• 作者: 任冰强 彭雪峰 曾爱军 杨宝喜 胡小邦 鲍建飞 黄惠杰 黄立华
• 来源期刊: 中国激光
• 学科: 工学
• 关键词: 光学设计 光刻技术 光束稳定 闭环控制 光束测量
• 年，卷（期）: 2012,（9）
• 所属期刊栏目: 测量与计量
• 页码范围: 146-152
• 页数: 7页
• 分类号: TN247|O435.1
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/CJL201239.0908004

摘要

光束稳定技术是光刻机照明系统中一项重要的单元技术,其作用是将激光器出射的经长距离传输后的光束稳定在需要的指向和位置上,以保证照明系统具有稳定的光强分布.光束稳定系统主要由光束测量和光束转向两个功能模块组成,推导了两个模块之间的光束传递矩阵,并基于LabView搭建了光电闭环控制实验系统.对系统性能进行了测试,通过人为引入已知光束漂移量得到如下结果:系统的指向稳态误差低于±3 μrad,位置稳态误差低于±0.04 mm,系统调整时间小于80 ms.结果表明该系统可以精确地把光束稳定在需要的指向和位置.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄惠杰	中国科学院上海光学精密机械研究所	69	544	13.0	23.0
2	任冰强	中国科学院上海光学精密机械研究所	10	266	7.0	10.0
3	黄立华	中国科学院上海光学精密机械研究所	27	348	11.0	18.0
4	曾爱军	中国科学院上海光学精密机械研究所	33	188	8.0	13.0
5	杨宝喜	中国科学院上海光学精密机械研究所	17	1	1.0	1.0
6	鲍建飞	中国科学院上海光学精密机械研究所	1	0	0.0	0.0
7	彭雪峰	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0
8	胡小邦	中国科学院上海光学精密机械研究所	2	0	0.0	0.0