微机械电容式加速度传感器仿真分析

• 作者: 刁爱民 刘树勇 杨庆超 杨明国 胥震
• 来源期刊: 仪表技术与传感器
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 电容传感器 Multisim 量程
• 年，卷（期）: 2012,（12）
• 所属期刊栏目: 传感器技术
• 页码范围: 1-2,8
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1613字
• 语种: 中文

摘要

微机械加速度传感器的检测模态特征频率和有效量程是进行传感器设计时必须要考虑的2个重要参数.文中在对传感器检测模态频率进行有限元分析的基础上,剁用电路仿真软件Multisim对传感器等效电路进行了谐振频率分析,并根据线性度指标求得了传感器的有效量程,为微机械加速度传感器的设计提供了参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘树勇	海军工程大学科研部	85	342	10.0	14.0
2	刁爱民	海军工程大学科研部	34	112	5.0	9.0
3	杨庆超	海军工程大学科研部	45	88	5.0	6.0
4	杨明国		5	23	3.0	4.0
5	胥震	海军工程大学科研部	2	10	2.0	2.0