利用SILVACO TCAD软件改进集成电路实践教学的研究

• 作者: 朱筠
• 来源期刊: 数字技术与应用
• 学科: 工学
• 关键词: Silvaco TCAD 工艺仿真 器件仿真
• 年，卷（期）: 2012,（7）
• 页码范围: 114-116
• 分类号: TN405-4
• 字数: 1931字
• 语种: 中文

摘要

日益成熟的集成电路工艺与器件计算机辅助设计工具有助于缩短半导体工艺和器件的开发周期、降低开发成本,因而越来越被广泛应用.通过模拟软件Silvaco TCAD对工艺进行仿真,了解实际集成电路生产涉及的氧化、扩散、淀积、光刻、刻蚀、平坦化等一系列工艺过程;对器件的仿真,熟悉专业基础课程内容如器件的基本结构、材料的性能、载流子的浓度和工作电压等对器件各种性能的影响.并可以加深学生对课程理论的理解,同时提高学习兴趣,从而获得良好教学效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱筠	西安邮电学院电子工程学院	10	15	2.0	3.0