Mn掺杂ZnO薄膜的Raman散射特性

• 作者: 介琼 倪晓昌 张宇 李彤 王雅欣 赵新为
• 来源期刊: 凝聚态物理学进展
• 学科: 物理学
• 关键词: ZNO MN 拉曼 稀磁半导体
• 年，卷（期）: 2013,（1）
• 页码范围: 21-25
• 页数: 5页
• 分类号: O48

摘要

利用射频磁控溅射方法在玻璃衬底上室温沉积了一系列ZnO和ZnO:Mn薄膜。结合Raman光谱和X射线衍射谱分析了不同Ar流量条件下的ZnO和ZnO:Mn薄膜的结构特性。结果显示,未掺杂的ZnO薄膜呈现出显著的(002)定向生长特征,出现在437 cm?1的Raman散射峰进一步证实了这一点。将Mn掺杂进入ZnO薄膜后,在522 cm?1位置上显现出很强的Raman散射峰,这可能是与Mn掺杂后的晶格缺陷有关。随着Ar流量的增大,522 cm?1和A1(LO)模Raman散射峰均出现的红移趋势,可能是ZnO薄膜在引入Mn时导致的更多晶格缺陷所致。