真空探针设备工艺研究

• 作者: 吕磊
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 真空探针 真空腔体 真空泵 波纹管
• 年，卷（期）: 2013,（4）
• 所属期刊栏目: 测试与测量
• 页码范围: 29-33
• 页数: 5页
• 分类号: TN305
• 字数: 3264字
• 语种: 中文

摘要

以手动真空探针设备为例,介绍了真空探针设备与常规设备不同的工艺技术,并分析了真空腔体密封方式及操作流程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕磊	中国电子科技集团公司第四十五研究所	13	20	3.0	3.0